靶材组件及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811319205.0

申请日：

2018-11-07

公开(公告)号：

CN111155059A

公开(公告)日：

2020-05-15

发明(设计)人：

姚力军潘杰王学泽廖培君

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

B23P1500

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

吴敏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20181107
2020-05-15	公开	公开
2022-11-11	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/34 申请公布日:20200515

共 50 条

[1]

靶材组件及其制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

王学泽 ;

段高林 .

中国专利 :CN106624235A ,2017-05-10

[2]

靶材组件及其制造方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

陈玉蓉 .

中国专利 :CN104416281A ,2015-03-18

[3]

靶材组件及其制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

王学泽 ;

李健成 .

中国专利 :CN106555161A ,2017-04-05

[4]

钽靶材组件及其制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

王学泽 ;

段高林 .

中国专利 :CN107447194A ,2017-12-08

[5]

铜靶材组件及其制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

廖培君 .

中国专利 :CN108213855A ,2018-06-29

[6]

靶材组件制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

罗明浩 ;

章晨 .

中国专利 :CN109423614A ,2019-03-05

[7]

硅靶材结构及其制造方法以及硅靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

章晨 .

中国专利 :CN107620048A ,2018-01-23

[8]

靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

王学泽 ;

李健成 ;

周伟君 .

中国专利 :CN105618886A ,2016-06-01

[9]

靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

段高林 .

中国专利 :CN107663631A ,2018-02-06

[10]

靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

段高林 .

中国专利 :CN108149203A ,2018-06-12

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