硅靶材结构及其制造方法以及硅靶材组件的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610561654.0

申请日：

2016-07-14

公开(公告)号：

CN107620048A

公开(公告)日：

2018-01-23

发明(设计)人：

姚力军潘杰相原俊夫王学泽章晨

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1435 C23C1818 C23C1838

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

高静;吴敏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-23	公开	公开
2018-02-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20160714
2021-01-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/34 申请公布日:20180123

共 50 条

[1]

靶材组件制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

罗明浩 ;

章晨 .

中国专利 :CN109423614A ,2019-03-05

[2]

钨靶坯结构的制造方法以及钨靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

寿奉粮 .

中国专利 :CN107779827A ,2018-03-09

[3]

钼靶坯结构的制造方法以及钼靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

寿奉粮 .

中国专利 :CN107779828A ,2018-03-09

[4]

靶材组件及其制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

廖培君 .

中国专利 :CN111155059A ,2020-05-15

[5]

靶材组件及其制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

王学泽 ;

段高林 .

中国专利 :CN106624235A ,2017-05-10

[6]

靶材组件及其制造方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

陈玉蓉 .

中国专利 :CN104416281A ,2015-03-18

[7]

靶材组件及其制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

王学泽 ;

李健成 .

中国专利 :CN106555161A ,2017-04-05

[8]

背板及其制造方法以及靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

王学泽 ;

张良进 .

中国专利 :CN107457495A ,2017-12-12

[9]

靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

王学泽 ;

李健成 ;

周伟君 .

中国专利 :CN105618886A ,2016-06-01

[10]

靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

段高林 .

中国专利 :CN107663631A ,2018-02-06

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