等离子处理装置以及等离子处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910037872.8

申请日：

2019-01-15

公开(公告)号：

CN110752136A

公开(公告)日：

2020-02-04

发明(设计)人：

徐浩内田丈滋中元茂福地功祐井上智己

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H01L213065

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

高颖

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-02-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20190115
2020-02-04	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子处理装置以及等离子处理方法 [P].

置田尚吾 ;

针贝笃史 ;

松原功幸 .

中国专利 :CN106024566A ,2016-10-12

[2]

等离子处理装置以及等离子处理方法 [P].

置田尚吾 ;

针贝笃史 ;

松原功幸 .

中国专利 :CN106024682A ,2016-10-12

[3]

等离子处理装置以及等离子处理方法 [P].

江崎隆 ;

广田侯然 ;

池永和幸 ;

角屋诚浩 .

日本专利 :CN119895545A ,2025-04-25

[4]

等离子处理装置以及等离子处理方法 [P].

置田尚吾 ;

针贝笃史 ;

松原功幸 .

中国专利 :CN106024565B ,2016-10-12

[5]

等离子处理装置以及等离子处理方法 [P].

置田尚吾 .

中国专利 :CN104616958B ,2015-05-13

[6]

等离子处理方法以及等离子处理装置 [P].

松井都 ;

桑原谦一 ;

臼井建人 ;

小林浩之 .

中国专利 :CN111801775A ,2020-10-20

[7]

等离子处理装置以及等离子处理方法 [P].

市川贵大 ;

弘中嘉之 ;

大越康雄 .

日本专利 :CN115004864B ,2025-10-14

[8]

等离子处理装置以及等离子处理方法 [P].

玉利南菜子 ;

广田侯然 ;

角屋诚浩 ;

长谷征洋 .

中国专利 :CN113498546A ,2021-10-12

[9]

等离子处理装置以及等离子处理方法 [P].

中谷信太郎 ;

一野贵雅 ;

近藤勇树 .

日本专利 :CN119905448A ,2025-04-29

[10]

等离子处理装置以及等离子处理方法 [P].

臼井建人 ;

广田侯然 ;

井上智己 ;

中元茂 ;

福地功祐 .

中国专利 :CN110767581A ,2020-02-07

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