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一种舱门组件及半导体设备
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201920862779.6
申请日
:
2019-06-10
公开(公告)号
:
CN210289527U
公开(公告)日
:
2020-04-10
发明(设计)人
:
王力元
甄静
申请人
:
申请人地址
:
201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号
IPC主分类号
:
E06B348
IPC分类号
:
E05F15605
E05F1570
代理机构
:
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人
:
胡彬
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-04-10
授权
授权
共 50 条
[1]
一种半导体基材承托装置及半导体设备
[P].
刘国强
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
苏州智程半导体科技股份有限公司
苏州智程半导体科技股份有限公司
刘国强
;
赵天翔
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机构:
苏州智程半导体科技股份有限公司
苏州智程半导体科技股份有限公司
赵天翔
.
中国专利
:CN222106670U
,2024-12-03
[2]
一种气流分配组件及半导体设备
[P].
李兵
论文数:
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机构:
芯恩(青岛)集成电路有限公司
芯恩(青岛)集成电路有限公司
李兵
;
邢超
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机构:
芯恩(青岛)集成电路有限公司
芯恩(青岛)集成电路有限公司
邢超
;
刘俊
论文数:
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0
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0
机构:
芯恩(青岛)集成电路有限公司
芯恩(青岛)集成电路有限公司
刘俊
;
丁瑜
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机构:
芯恩(青岛)集成电路有限公司
芯恩(青岛)集成电路有限公司
丁瑜
;
王伟
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机构:
芯恩(青岛)集成电路有限公司
芯恩(青岛)集成电路有限公司
王伟
.
中国专利
:CN222562639U
,2025-03-04
[3]
一种高温导热组件及半导体设备
[P].
朱涛
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机构:
拓荆科技(上海)有限公司
拓荆科技(上海)有限公司
朱涛
;
张艳娟
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机构:
拓荆科技(上海)有限公司
拓荆科技(上海)有限公司
张艳娟
;
李连杰
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机构:
拓荆科技(上海)有限公司
拓荆科技(上海)有限公司
李连杰
;
张佳琦
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机构:
拓荆科技(上海)有限公司
拓荆科技(上海)有限公司
张佳琦
;
陈聪
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机构:
拓荆科技(上海)有限公司
拓荆科技(上海)有限公司
陈聪
.
中国专利
:CN222338273U
,2025-01-10
[4]
一种半导体器件及半导体设备
[P].
孙驰
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机构:
深圳市时代速信科技有限公司
深圳市时代速信科技有限公司
孙驰
.
中国专利
:CN222071950U
,2024-11-26
[5]
一种半导体机台及半导体设备
[P].
崔立加
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机构:
合肥晶合集成电路股份有限公司
合肥晶合集成电路股份有限公司
崔立加
;
王旭东
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机构:
合肥晶合集成电路股份有限公司
合肥晶合集成电路股份有限公司
王旭东
.
中国专利
:CN221747164U
,2024-09-20
[6]
半导体设备的机械臂及半导体设备
[P].
李苗苗
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机构:
芯恩(青岛)集成电路有限公司
芯恩(青岛)集成电路有限公司
李苗苗
.
中国专利
:CN222705483U
,2025-04-01
[7]
一种半导体设备传导组件
[P].
金松鹤
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金松鹤
.
中国专利
:CN213621072U
,2021-07-06
[8]
一种半导体设备
[P].
林信南
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林信南
;
游宗龙
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游宗龙
;
刘美华
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刘美华
;
李方华
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李方华
;
児玉晃
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児玉晃
;
板垣克則
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板垣克則
.
中国专利
:CN211199390U
,2020-08-07
[9]
一种半导体设备密封结构及半导体设备
[P].
孙文彬
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孙文彬
;
戴建波
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戴建波
.
中国专利
:CN217081396U
,2022-07-29
[10]
一种半导体设备前端模块及半导体设备
[P].
谢光训
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机构:
合肥晶合集成电路股份有限公司
合肥晶合集成电路股份有限公司
谢光训
;
黄望望
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机构:
合肥晶合集成电路股份有限公司
合肥晶合集成电路股份有限公司
黄望望
.
中国专利
:CN221407248U
,2024-07-23
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