靶材的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910140216.7

申请日：

2009-07-07

公开(公告)号：

CN101591768B

公开(公告)日：

2009-12-02

发明(设计)人：

姚力军潘杰王学泽陈勇军刘庆

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省余姚市阳明科技工业园区江丰路1号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C22F104 C25D1104 C25D1106 C25D1118

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

吴靖靓;李丽

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-05-25	授权	授权
2010-01-27	实质审查的生效	实质审查的生效
2014-09-10	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101705159244 IPC(主分类):C23C 14/34 专利号:ZL2009101402167 变更事项:专利权人变更前:宁波江丰电子材料有限公司变更后:宁波江丰电子材料股份有限公司变更事项:地址变更前:315400 浙江省余姚市阳明科技工业园区江丰路1号变更后:315400 浙江省余姚市阳明科技工业园区江丰路1号
2009-12-02	公开	公开

共 50 条

[1]

靶材组件的制作方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

罗明浩 ;

占卫君 .

中国专利 :CN111041431A ,2020-04-21

[2]

钨靶材的制作方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

宋佳 .

中国专利 :CN102513789A ,2012-06-27

[3]

靶材的制作方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

陈勇军 ;

刘庆 .

中国专利 :CN101684543B ,2010-03-31

[4]

靶材的制作方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

陈勇军 ;

刘庆 .

中国专利 :CN101569898B ,2009-11-04

[5]

溅射靶材、靶材组件及靶材组件的制作方法 [P].

大岩一彦 ;

姚科科 ;

山田浩 .

中国专利 :CN114351096A ,2022-04-15

[6]

溅射靶材、靶材组件及靶材组件的制作方法 [P].

大岩一彦 ;

姚科科 ;

山田浩 .

中国专利 :CN114351096B ,2025-03-25

[7]

靶材组件的制作方法和靶材组件 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

杨广 .

中国专利 :CN104513952A ,2015-04-15

[8]

钽靶材制作方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

周友平 .

中国专利 :CN102296272A ,2011-12-28

[9]

溅射靶材及其制作方法 [P].

木村沙织 ;

近藤寿惠 ;

仲泽达也 ;

小川晃平 ;

前藤启介 ;

堀川留梦 ;

山田登士 ;

宫本浩史 ;

武原真彦 ;

细井拓也 .

日本专利 :CN120530223A ,2025-08-22

[10]

溅射靶材及其制作方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

李小萍 .

中国专利 :CN104419900B ,2015-03-18

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