电感耦合等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310565810.7

申请日：

2013-11-14

公开(公告)号：

CN103811262B

公开(公告)日：

2014-05-21

发明(设计)人：

佐佐木和男里吉务山泽阳平古屋敦城齐藤均

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-08-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101622998936 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2013105658107 申请日:20131114
2014-05-21	公开	公开
2017-04-05	授权	授权

共 50 条

[1]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

山泽阳平 ;

佐佐木和男 ;

古屋敦城 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN103985624A ,2014-08-13

[2]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 ;

东条利洋 .

中国专利 :CN102751157B ,2012-10-24

[3]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

齐藤均 ;

佐佐木和男 ;

里吉务 ;

东条利洋 .

中国专利 :CN111430210A ,2020-07-17

[4]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

东条利洋 ;

里吉务 ;

佐佐木和男 .

中国专利 :CN103996595A ,2014-08-20

[5]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

里吉务 .

中国专利 :CN1437433A ,2003-08-20

[6]

电感耦合等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

斋藤均 ;

佐藤亮 .

中国专利 :CN101076220B ,2007-11-21

[7]

电感耦合等离子体用天线单元和电感耦合等离子体处理装置 [P].

东条利洋 .

中国专利 :CN103167717B ,2013-06-19

[8]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

金禹贤 ;

刘光钟 ;

崔载勋 ;

卢德熙 ;

金正洙 ;

金东煜 .

韩国专利 :CN119517715A ,2025-02-25

[9]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 ;

东条利洋 .

中国专利 :CN102751156A ,2012-10-24

[10]

电感耦合等离子体用天线单元和电感耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 ;

佐藤亮 .

中国专利 :CN103037612A ,2013-04-10

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