电感耦合等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311674430.7

申请日：

2023-12-07

公开(公告)号：

CN119517715A

公开(公告)日：

2025-02-25

发明(设计)人：

金禹贤刘光钟崔载勋卢德熙金正洙金东煜

申请人：

圆益IPS股份有限公司

申请人地址：

韩国京畿道平泽市振威面振威产团路75

IPC主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

代理机构：

北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384

代理人：

郑青松

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-25	公开	公开
2025-03-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/32申请日:20231207

共 50 条

[1]

电感耦合等离子体用天线单元和电感耦合等离子体处理装置 [P].

东条利洋 .

中国专利 :CN103167717B ,2013-06-19

[2]

电感耦合等离子体处理装置与等离子体产生装置 [P].

倪图强 ;

庞晓贝 ;

饭塚浩 .

中国专利 :CN108271307A ,2018-07-10

[3]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

齐藤均 ;

佐佐木和男 ;

里吉务 ;

东条利洋 .

中国专利 :CN111430210A ,2020-07-17

[4]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 ;

里吉务 ;

山泽阳平 ;

古屋敦城 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN103811262B ,2014-05-21

[5]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

李炅锡 ;

丘炳熙 ;

金正泰 ;

孙东植 ;

李庆汉 ;

林正焕 ;

崔智淑 .

中国专利 :CN103917036A ,2014-07-09

[6]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

山泽阳平 ;

佐佐木和男 ;

古屋敦城 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN103985624A ,2014-08-13

[7]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

东条利洋 ;

里吉务 ;

佐佐木和男 .

中国专利 :CN103996595A ,2014-08-20

[8]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

里吉务 .

中国专利 :CN1437433A ,2003-08-20

[9]

电感耦合等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

斋藤均 ;

佐藤亮 .

中国专利 :CN101076220B ,2007-11-21

[10]

电感耦合等离子体处理装置及等离子体刻蚀方法 [P].

连增迪 ;

吴狄 ;

黄允文 ;

倪图强 .

中国专利 :CN105632861B ,2016-06-01

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