电感耦合等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310346831.X

申请日：

2013-08-09

公开(公告)号：

CN103917036A

公开(公告)日：

2014-07-09

发明(设计)人：

李炅锡丘炳熙金正泰孙东植李庆汉林正焕崔智淑

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

姜虎;陈英俊

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-08-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101584240256 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:201310346831X 申请日:20130809
2016-11-09	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101741209638 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:201310346831X 申请公布日:20140709
2014-07-09	公开	公开

共 50 条

[1]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

崔智淑 ;

李昌根 .

中国专利 :CN103917037B ,2014-07-09

[2]

电感耦合等离子体处理装置及其控制方法 [P].

林正焕 .

中国专利 :CN103813610A ,2014-05-21

[3]

电感耦合等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

斋藤均 ;

佐藤亮 .

中国专利 :CN101076220B ,2007-11-21

[4]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

金禹贤 ;

刘光钟 ;

崔载勋 ;

卢德熙 ;

金正洙 ;

金东煜 .

韩国专利 :CN119517715A ,2025-02-25

[5]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 ;

东条利洋 .

中国专利 :CN102751156A ,2012-10-24

[6]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

东条利洋 ;

里吉务 ;

佐佐木和男 .

中国专利 :CN103996595A ,2014-08-20

[7]

电感耦合等离子体处理装置及其控制方法 [P].

林正焕 .

中国专利 :CN103841743A ,2014-06-04

[8]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 ;

东条利洋 .

中国专利 :CN102751157B ,2012-10-24

[9]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

齐藤均 ;

佐佐木和男 ;

里吉务 ;

东条利洋 .

中国专利 :CN111430210A ,2020-07-17

[10]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 ;

里吉务 ;

山泽阳平 ;

古屋敦城 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN103811262B ,2014-05-21

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