一种谐振式压力传感器及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110673446.0

申请日：

2021-06-17

公开(公告)号：

CN113465791B

公开(公告)日：

2021-10-01

发明(设计)人：

王淞立方续东蒋庄德李杰高博楠方子艳孙昊赵立波田边吴晨邓武彬吴俊侠康强

申请人：

申请人地址：

710049 陕西省西安市咸宁西路28号

IPC主分类号：

G01L118

IPC分类号：

G01L906 B81B702 B81C100

代理机构：

西安通大专利代理有限责任公司 61200

代理人：

安彦彦

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-20	授权	授权
2021-10-01	公开	公开
2021-10-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 1/18 申请日:20210617

共 50 条

[1]

一种谐振式压力传感器及其制备方法 [P].

王若飞 ;

赵大国 ;

何京涛 ;

宋志强 ;

律明琛 ;

王晓峰 .

中国专利 :CN119984575A ,2025-05-13

[2]

谐振式压力传感器 [P].

王军波 ;

谢波 ;

陈德勇 ;

王艳双 .

中国专利 :CN105203234A ,2015-12-30

[3]

一种MEMS谐振式压力传感器 [P].

庄须叶 ;

律明琛 ;

李平华 ;

于志逾 ;

刘靖豪 .

中国专利 :CN118533330A ,2024-08-23

[4]

一种谐振式压力传感器及其制备方法 [P].

缪建民 ;

高云飞 ;

王志宏 .

中国专利 :CN117168662B ,2024-01-12

[5]

一种谐振式压力传感器及其制备方法 [P].

王家畴 ;

田宇博 ;

李昕欣 .

中国专利 :CN118258524A ,2024-06-28

[6]

一种谐振式压力传感器及其制备方法 [P].

王家畴 ;

田宇博 ;

李昕欣 .

中国专利 :CN118258524B ,2025-07-08

[7]

基于压阻检测的谐振式压力传感器及其制备方法 [P].

陈德勇 ;

鲁毓岚 ;

王军波 ;

侍小青 ;

谢波 .

中国专利 :CN108516518A ,2018-09-11

[8]

谐振式压力传感器及其制造方法 [P].

吉田隆司 ;

吉田勇作 ;

汤本淳志 ;

铃木良孝 .

中国专利 :CN104422547A ,2015-03-18

[9]

一种MEMS谐振式压力传感器及其制造方法 [P].

律明琛 ;

赵大国 ;

何京涛 ;

王晓峰 ;

王若飞 ;

宋志强 .

中国专利 :CN119984576A ,2025-05-13

[10]

基于静电激励压阻检测的差动式硅微谐振式压力传感器 [P].

赵立波 ;

韩香广 ;

李雪娇 ;

王李 ;

于明智 ;

李支康 ;

朱楠 ;

杨萍 ;

闫鑫 ;

王淞立 ;

赵玉龙 ;

蒋庄德 .

中国专利 :CN111289156A ,2020-06-16

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