一种谐振式压力传感器及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510041832.6

申请日：

2025-01-10

公开(公告)号：

CN119984575A

公开(公告)日：

2025-05-13

发明(设计)人：

王若飞赵大国何京涛宋志强律明琛王晓峰

申请人：

浙江芯晟半导体科技有限责任公司

申请人地址：

314000 浙江省嘉兴市南湖区大桥镇凌公塘路3556号南湖海创园10号楼306室

IPC主分类号：

G01L1/10

IPC分类号：

G01L11/00

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：

张立果

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-30	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01L 1/10申请日:20250110
2025-05-13	公开	公开

共 50 条

[1]

一种谐振式压力传感器及其制备方法 [P].

王淞立 ;

方续东 ;

蒋庄德 ;

李杰 ;

高博楠 ;

方子艳 ;

孙昊 ;

赵立波 ;

田边 ;

吴晨 ;

邓武彬 ;

吴俊侠 ;

康强 .

中国专利 :CN113465791B ,2021-10-01

[2]

谐振式压力传感器 [P].

王军波 ;

谢波 ;

陈德勇 ;

王艳双 .

中国专利 :CN105203234A ,2015-12-30

[3]

一种MEMS谐振式压力传感器 [P].

庄须叶 ;

律明琛 ;

李平华 ;

于志逾 ;

刘靖豪 .

中国专利 :CN118533330A ,2024-08-23

[4]

量程灵敏度可调的谐振式压力传感器 [P].

陈德勇 ;

夏文良 ;

秦佳新 ;

王军波 ;

谢波 ;

鲁毓岚 .

中国专利 :CN120800600A ,2025-10-17

[5]

量程灵敏度可调的谐振式压力传感器 [P].

陈德勇 ;

夏文良 ;

秦佳新 ;

王军波 ;

谢波 ;

鲁毓岚 .

中国专利 :CN120800600B ,2025-12-23

[6]

一种MEMS谐振式压力传感器及其制造方法 [P].

律明琛 ;

赵大国 ;

何京涛 ;

王晓峰 ;

王若飞 ;

宋志强 .

中国专利 :CN119984576A ,2025-05-13

[7]

一种谐振式压力传感器及其制备方法 [P].

缪建民 ;

高云飞 ;

王志宏 .

中国专利 :CN117168662B ,2024-01-12

[8]

一种谐振式压力传感器及其制备方法 [P].

王家畴 ;

田宇博 ;

李昕欣 .

中国专利 :CN118258524A ,2024-06-28

[9]

一种谐振式压力传感器及其制备方法 [P].

王家畴 ;

田宇博 ;

李昕欣 .

中国专利 :CN118258524B ,2025-07-08

[10]

基于压阻检测的谐振式压力传感器及其制备方法 [P].

陈德勇 ;

鲁毓岚 ;

王军波 ;

侍小青 ;

谢波 .

中国专利 :CN108516518A ,2018-09-11

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