一种针孔类生长缺陷的检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910247209.7

申请日：

2009-12-24

公开(公告)号：

CN102110625A

公开(公告)日：

2011-06-29

发明(设计)人：

任正鹏

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H01L21306

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司 11018

代理人：

牛峥;王丽琴

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-06-29	公开	公开
2020-12-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20091224 授权公告日:20120725 终止日期:20191224
2012-07-25	授权	授权
2011-08-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101096116144 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2009102472097 申请日:20091224

共 50 条

[1]

一种芯片针孔缺陷的检测方法 [P].

侯旎璐 ;

汪洋 .

中国专利 :CN113097088A ,2021-07-09

[2]

漆包线针孔缺陷检测方法 [P].

高辉 ;

郭圣波 ;

黄代忠 ;

袁伟刚 .

中国专利 :CN113960388A ,2022-01-21

[3]

一种检测浅沟槽隔离区空洞缺陷的方法 [P].

曹坚 ;

张亮 .

中国专利 :CN106098584A ,2016-11-09

[4]

一种透明陶瓷缺陷的检测方法 [P].

左传东 ;

高晓悦 ;

文子诚 ;

麻朝阳 ;

高鹏 .

中国专利 :CN117761063A ,2024-03-26

[5]

一种集成针孔检测的薄膜表面缺陷检测方法 [P].

冯超 ;

曾霖 .

中国专利 :CN118731036A ,2024-10-01

[6]

一种栅氧化层生长方法 [P].

李小红 ;

胡海龙 ;

杨世红 .

中国专利 :CN113889403A ,2022-01-04

[7]

一种油墨及采用该油墨修补干版针孔类缺陷的方法 [P].

王金木 .

中国专利 :CN101403851A ,2009-04-08

[8]

一种检测晶圆栅氧化物缺失缺陷的方法 [P].

张红伟 .

中国专利 :CN104241161A ,2014-12-24

[9]

一种原子层氧化物沉积针孔缺陷检测方法 [P].

范荣伟 .

中国专利 :CN107331633A ,2017-11-07

[10]

一种生坯缺陷的检测方法 [P].

管军凯 ;

鲁慧峰 ;

何庆 .

中国专利 :CN120761406A ,2025-10-10

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