一种湿硅片自动分片装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201020542420.X

申请日：

2010-09-21

公开(公告)号：

CN201838565U

公开(公告)日：

2011-05-18

发明(设计)人：

陈旭光刘华李松林

申请人：

申请人地址：

338000 江西省新余市高新经济开发区赛维工业园专利办公室

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

江西省专利事务所 36100

代理人：

杨志宇

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-20	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20100921 授权公告日:20110518
2011-05-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种湿硅片自动分片装置 [P].

刘华 ;

张存新 ;

郝刚 ;

李松林 ;

刘俊 .

中国专利 :CN202487547U ,2012-10-10

[2]

一种湿硅片自动分片装置 [P].

刘华 ;

张存新 ;

李松林 ;

郝刚 ;

刘俊 .

中国专利 :CN202474010U ,2012-10-03

[3]

湿硅片分片机 [P].

洪平 .

中国专利 :CN203071051U ,2013-07-17

[4]

一种水中硅片立式分片机构 [P].

靳立辉 ;

姚长娟 ;

杨骅 ;

任志高 ;

尹擎 ;

杨国建 ;

王国瑞 ;

杨桂贺 ;

樊赛 .

中国专利 :CN210245471U ,2020-04-03

[5]

一种硅片分片装置 [P].

丁治祥 ;

沈晓琪 ;

强嘉杰 ;

张立 .

中国专利 :CN211929443U ,2020-11-13

[6]

一种硅片分片装置 [P].

牟恒 .

中国专利 :CN108878337B ,2018-11-23

[7]

一种硅片分片装置 [P].

邱文良 .

中国专利 :CN205303426U ,2016-06-08

[8]

一种硅片分片装置 [P].

陈真 ;

李维超 .

中国专利 :CN216354115U ,2022-04-19

[9]

一种硅片分片装置 [P].

王建锁 ;

贾永前 ;

孙玉虎 .

中国专利 :CN217755872U ,2022-11-08

[10]

一种硅片自动分片送料装置 [P].

万喜增 ;

严云 ;

黄笑容 ;

郑六奎 .

中国专利 :CN209097765U ,2019-07-12

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