一种光刻机用调焦调平系统及其调焦调平方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410854254.X

申请日：

2014-12-31

公开(公告)号：

CN105807571A

公开(公告)日：

2016-07-27

发明(设计)人：

唐平玉王海江张启天

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G02B1704

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101675834707 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:201410854254X 申请日:20141231
2016-07-27	公开	公开
2017-09-05	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101758705942 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:201410854254X 变更事项:申请人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号
2018-08-24	授权	授权

共 50 条

[1]

调焦调平系统及光刻机 [P].

彭俊 ;

张雨 ;

王晓庆 .

中国专利 :CN119535901A ,2025-02-28

[2]

调焦调平系统、调焦调平方法及光刻设备 [P].

张雨 ;

彭俊 ;

王晓庆 ;

邢奕飞 .

中国专利 :CN118276423A ,2024-07-02

[3]

一种调焦调平系统、方法及光刻机 [P].

毛静超 ;

徐荣伟 ;

庄亚政 ;

孙建超 ;

季桂林 ;

李淑蓉 .

中国专利 :CN113138546B ,2021-07-20

[4]

一种调焦调平系统及其调焦调平方法 [P].

王晓庆 ;

王福亮 .

中国专利 :CN106933070A ,2017-07-07

[5]

光刻机调焦调平机构以及光刻机调平机构 [P].

王大志 ;

何凯 ;

杜如虚 .

中国专利 :CN102854751A ,2013-01-02

[6]

调焦调平系统、调焦调平方法及曝光装置 [P].

张雨 ;

邢奕飞 ;

王晓庆 ;

鲁珅 .

中国专利 :CN120447315A ,2025-08-08

[7]

调焦调平系统、光学设备及调焦调平方法 [P].

彭俊 ;

张雨 ;

王晓庆 .

中国专利 :CN117518724A ,2024-02-06

[8]

一种调焦调平装置、光刻机及调焦调平的方法 [P].

季桂林 .

中国专利 :CN111061128A ,2020-04-24

[9]

用于投影光刻机的调焦调平方法 [P].

杨晓青 ;

张青云 ;

王帆 .

中国专利 :CN103869627A ,2014-06-18

[10]

一种光刻机多路同步调焦调平系统和方法 [P].

陈钰思阳 ;

杨宣华 .

中国专利 :CN114697535A ,2022-07-01

← 1 2 3 4 5 →