一种光刻机多路同步调焦调平系统和方法

被引：0

申请号：

CN202011628416.X

申请日：

2020-12-31

公开(公告)号：

CN114697535A

公开(公告)日：

2022-07-01

发明(设计)人：

陈钰思阳杨宣华

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号

IPC主分类号：

H04N5232

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

孟金喆

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-01	公开	公开
2022-07-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H04N 5/232 申请日:20201231

共 50 条

[1]

调焦调平系统及光刻机 [P].

彭俊 ;

张雨 ;

王晓庆 .

中国专利 :CN119535901A ,2025-02-28

[2]

一种调焦调平系统、方法及光刻机 [P].

毛静超 ;

徐荣伟 ;

庄亚政 ;

孙建超 ;

季桂林 ;

李淑蓉 .

中国专利 :CN113138546B ,2021-07-20

[3]

一种光刻机用调焦调平系统及其调焦调平方法 [P].

唐平玉 ;

王海江 ;

张启天 .

中国专利 :CN105807571A ,2016-07-27

[4]

光刻机调焦调平机构以及光刻机调平机构 [P].

王大志 ;

何凯 ;

杜如虚 .

中国专利 :CN102854751A ,2013-01-02

[5]

用于步进扫描光刻机的自动同步调焦系统 [P].

张琪 ;

符友银 .

中国专利 :CN117055306B ,2024-01-16

[6]

一种非接触式光刻机调平调焦系统、方法和光刻机 [P].

杨若夫 ;

敖明武 .

中国专利 :CN103631098B ,2014-03-12

[7]

一种调焦调平装置、光刻机及调焦调平的方法 [P].

季桂林 .

中国专利 :CN111061128A ,2020-04-24

[8]

一种光刻机的调平系统 [P].

马平 ;

胡松 ;

杨春利 .

中国专利 :CN102012646B ,2011-04-13

[9]

用于投影光刻机的调焦调平传感器 [P].

胡建明 ;

王向朝 ;

曾爱军 .

中国专利 :CN1700101B ,2005-11-23

[10]

兼顾对准和调焦调平的测量系统及其测量方法和光刻机 [P].

张成爽 ;

潘炼东 ;

于大维 .

中国专利 :CN108008607B ,2018-05-08

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