用于步进扫描光刻机的自动同步调焦系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311308748.3

申请日：

2023-10-11

公开(公告)号：

CN117055306B

公开(公告)日：

2024-01-16

发明(设计)人：

张琪符友银

申请人：

福建安芯半导体科技有限公司

申请人地址：

362343 福建省泉州市南安市石井镇院前村2号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

北京唐颂永信知识产权代理有限公司 11755

代理人：

刘伟

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更

国省代码：

福建省泉州市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-06	专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更	专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更IPC(主分类):G03F 7/20变更事项:专利权人变更前:新毅东（上海）科技有限公司变更后:新毅东（北京）科技有限公司变更事项:国家或地区变更前:中国变更后:中国变更事项:地址变更前:上海市青浦区华新镇北青公路3888号20幢变更后:102600 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街甲5号3号楼1层101-8
2024-01-16	授权	授权
2024-04-23	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移IPC(主分类):G03F 7/20登记生效日:20240407变更事项:专利权人变更前权利人:福建安芯半导体科技有限公司变更后权利人:新毅东（上海）科技有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国变更后权利人:中国变更事项:地址变更前权利人:362343 福建省泉州市南安市石井镇院前村2号变更后权利人:201705 上海市青浦区华新镇北青公路3888号20幢

共 50 条

[1]

步进扫描光刻机连续扫描同步控制方法和系统 [P].

刘世元 ;

裴辛哲 ;

周畅 ;

陈勇辉 .

中国专利 :CN1259691C ,2005-03-02

[2]

用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置 [P].

林栋梁 ;

马兴华 ;

任冰强 ;

程伟林 ;

张友宝 ;

钱珍梅 ;

屈建峰 ;

孙征宇 ;

黄惠杰 .

中国专利 :CN103439865A ,2013-12-11

[3]

步进扫描光刻机控制方法与系统 [P].

谢仁飚 ;

聂仕华 .

中国专利 :CN104698765B ,2015-06-10

[4]

步进扫描投影光刻机同步控制系统 [P].

刘世元 ;

陈勇辉 ;

池蜂 ;

周畅 ;

韦学志 .

中国专利 :CN100485534C ,2008-03-26

[5]

一种光刻机多路同步调焦调平系统和方法 [P].

陈钰思阳 ;

杨宣华 .

中国专利 :CN114697535A ,2022-07-01

[6]

步进扫描光刻机晶片台掩模台同步控制系统 [P].

朱涛 ;

李艳秋 .

中国专利 :CN1967386A ,2007-05-23

[7]

步进扫描光刻机双台交换系统 [P].

刘亚忠 ;

崔继文 ;

王绍腾 .

中国专利 :CN102122120A ,2011-07-13

[8]

步进扫描光刻机双台交换定位系统 [P].

李映笙 ;

李小平 .

中国专利 :CN1828427A ,2006-09-06

[9]

光刻机的自动调焦装置 [P].

吴濯才 ;

刘业异 ;

谢传钵 ;

姚汉民 ;

林大键 .

中国专利 :CN2073594U ,1991-03-20

[10]

步进扫描投影光刻机的照明系统 [P].

曾爱军 ;

陈立群 ;

方瑞芳 ;

黄惠杰 .

中国专利 :CN103412465B ,2013-11-27

← 1 2 3 4 5 →