光刻机的自动调焦装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN90214965.2

申请日：

1990-09-28

公开(公告)号：

CN2073594U

公开(公告)日：

1991-03-20

发明(设计)人：

吴濯才刘业异谢传钵姚汉民林大键

申请人：

申请人地址：

610209四川省成都市双流350信箱

IPC主分类号：

G03F7207

IPC分类号：

代理机构：

中国科学院成都专利事务所

代理人：

张一红

法律状态：

公开

国省代码：

引用

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
1991-03-20	公开	公开
1993-08-18	专利权的终止未缴年费专利权终止	专利权的终止未缴年费专利权终止
1991-10-30	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻机调焦调平机构以及光刻机调平机构 [P].

王大志 ;

何凯 ;

杜如虚 .

中国专利 :CN102854751A ,2013-01-02

[2]

亚微米光刻机的调焦装置 [P].

陈旭南 ;

胡松 ;

李东 .

中国专利 :CN2352976Y ,1999-12-08

[3]

一种光刻机的自动调焦方法 [P].

韩希珍 ;

赵建 ;

孙强 .

中国专利 :CN103257533A ,2013-08-21

[4]

一种调焦装置、光刻机及调焦装置的调焦方法 [P].

李淑蓉 ;

徐荣伟 ;

庄亚政 ;

孙建超 .

中国专利 :CN110095944A ,2019-08-06

[5]

调焦调平装置及光刻机 [P].

彭俊 ;

张雨 ;

王晓庆 .

中国专利 :CN220651063U ,2024-03-22

[6]

一种具有扫描促动结构的光刻机镜头自动调焦机构 [P].

张超 .

中国专利 :CN223712002U ,2025-12-23

[7]

一种光刻机自动调焦方法及装置 [P].

刘世元 ;

张鹏 .

中国专利 :CN101968607B ,2011-02-09

[8]

一种光刻机Mark点的CCD调焦装置 [P].

张雪奎 ;

牛立久 .

中国专利 :CN212694246U ,2021-03-12

[9]

动态光栅刻划机的自动调焦装置 [P].

魏相惠 ;

杨胜丰 ;

叶宝珠 .

中国专利 :CN2073595U ,1991-03-20

[10]

光刻机及光刻机的压板装置 [P].

胡刚 ;

陈东 ;

项宗齐 .

中国专利 :CN214375824U ,2021-10-08

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