一种光刻机的自动调焦方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310184561.7

申请日：

2013-05-17

公开(公告)号：

CN103257533A

公开(公告)日：

2013-08-21

发明(设计)人：

韩希珍赵建孙强

申请人：

申请人地址：

130033 吉林省长春市东南湖大路3888号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G02B736

代理机构：

长春菁华专利商标代理事务所 22210

代理人：

陶尊新

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-08-21	公开	公开
2014-12-24	授权	授权
2013-09-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101520129100 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013101845617 申请日:20130517

共 50 条

[1]

光刻机的自动调焦装置 [P].

吴濯才 ;

刘业异 ;

谢传钵 ;

姚汉民 ;

林大键 .

中国专利 :CN2073594U ,1991-03-20

[2]

一种光刻机自动调焦方法及装置 [P].

刘世元 ;

张鹏 .

中国专利 :CN101968607B ,2011-02-09

[3]

一种调焦装置、光刻机及调焦装置的调焦方法 [P].

李淑蓉 ;

徐荣伟 ;

庄亚政 ;

孙建超 .

中国专利 :CN110095944A ,2019-08-06

[4]

一种具有扫描促动结构的光刻机镜头自动调焦机构 [P].

张超 .

中国专利 :CN223712002U ,2025-12-23

[5]

亚微米光刻机的调焦装置 [P].

陈旭南 ;

胡松 ;

李东 .

中国专利 :CN2352976Y ,1999-12-08

[6]

一种非接触式光刻机调平调焦系统、方法和光刻机 [P].

杨若夫 ;

敖明武 .

中国专利 :CN103631098B ,2014-03-12

[7]

一种光刻机匹配方法 [P].

王成瑾 ;

张生睿 .

中国专利 :CN114660904A ,2022-06-24

[8]

自动光刻机 [P].

张成安 ;

魏纯 ;

肖乐 .

中国专利 :CN109240043B ,2019-01-18

[9]

一种自动光刻机 [P].

张圆圆 ;

周超 .

中国专利 :CN111413851A ,2020-07-14

[10]

一种自动光刻机 [P].

时琦 .

中国专利 :CN208224716U ,2018-12-11

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