一种调焦装置、光刻机及调焦装置的调焦方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810097390.7

申请日：

2018-01-31

公开(公告)号：

CN110095944A

公开(公告)日：

2019-08-06

发明(设计)人：

李淑蓉徐荣伟庄亚政孙建超

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

孟金喆

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-06	公开	公开
2019-08-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20180131
2020-05-22	授权	授权

共 50 条

[1]

一种光刻机自动调焦方法及装置 [P].

刘世元 ;

张鹏 .

中国专利 :CN101968607B ,2011-02-09

[2]

调焦调平装置及光刻机 [P].

彭俊 ;

张雨 ;

王晓庆 .

中国专利 :CN220651063U ,2024-03-22

[3]

光刻机的自动调焦装置 [P].

吴濯才 ;

刘业异 ;

谢传钵 ;

姚汉民 ;

林大键 .

中国专利 :CN2073594U ,1991-03-20

[4]

调焦调平装置及光刻机 [P].

彭俊 ;

李道萍 ;

孙建超 ;

王晓庆 ;

陈小娟 ;

庄亚政 ;

徐荣伟 .

中国专利 :CN115542674A ,2022-12-30

[5]

调焦调平装置及光刻机 [P].

彭俊 ;

李道萍 ;

孙建超 ;

王晓庆 ;

陈小娟 ;

庄亚政 ;

徐荣伟 .

中国专利 :CN115542674B ,2025-08-26

[6]

亚微米光刻机的调焦装置 [P].

陈旭南 ;

胡松 ;

李东 .

中国专利 :CN2352976Y ,1999-12-08

[7]

调焦调平装置及光刻机 [P].

彭俊 ;

李道萍 ;

孙建超 ;

王晓庆 ;

陈小娟 ;

庄亚政 ;

徐荣伟 .

中国专利 :CN115542672A ,2022-12-30

[8]

一种调焦调平装置、光刻机及调焦调平的方法 [P].

季桂林 .

中国专利 :CN111061128A ,2020-04-24

[9]

调焦装置及调焦方法 [P].

陈志炜 ;

曹士潮 ;

刘伟 .

中国专利 :CN113625418A ,2021-11-09

[10]

一种调焦调平装置及光刻机 [P].

齐景超 ;

陈雪影 .

中国专利 :CN207780485U ,2018-08-28

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