一种自动光刻机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820863252.0

申请日：

2018-06-05

公开(公告)号：

CN208224716U

公开(公告)日：

2018-12-11

发明(设计)人：

时琦

申请人：

申请人地址：

261500 山东省潍坊市高密市盛泉大街2333号（醴泉工业园内）

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

济南圣达知识产权代理有限公司 37221

代理人：

赵妍

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-11	授权	授权

共 50 条

[1]

一种自动光刻机 [P].

张圆圆 ;

周超 .

中国专利 :CN111413851A ,2020-07-14

[2]

一种光刻机框架及光刻机 [P].

张瑞平 ;

杨玉杰 .

中国专利 :CN209149068U ,2019-07-23

[3]

一种光刻机吸盘及光刻机 [P].

陈鹏 ;

余洋 ;

周伟 ;

施超 ;

董佳 .

中国专利 :CN223637883U ,2025-12-05

[4]

一种全自动光刻机 [P].

张其文 .

中国专利 :CN214504121U ,2021-10-26

[5]

一种单面自动光刻机 [P].

张其文 ;

扶小莲 ;

刘阳波 ;

陈正洪 .

中国专利 :CN216622957U ,2022-05-27

[6]

一种全自动双面数字光刻机 [P].

陈志特 ;

王华 ;

黄海浩 ;

甘泉 ;

何增灿 ;

龚海峰 .

中国专利 :CN216848463U ,2022-06-28

[7]

自动光刻机 [P].

张成安 ;

魏纯 ;

肖乐 .

中国专利 :CN109240043B ,2019-01-18

[8]

一种光刻机 [P].

孙飞磊 ;

蔡亮 ;

吴鹏 .

中国专利 :CN209433182U ,2019-09-24

[9]

一种光刻机 [P].

张爱玲 .

中国专利 :CN218298765U ,2023-01-13

[10]

一种光刻机 [P].

李宏强 ;

魏泽勇 ;

曾威 ;

武超 ;

林彦霆 ;

黄宇宇 .

中国专利 :CN205958926U ,2017-02-15

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