一种光刻机

被引：0

申请号：

CN202222056941.X

申请日：

2022-08-05

公开(公告)号：

CN218298765U

公开(公告)日：

2023-01-13

发明(设计)人：

张爱玲

申请人：

申请人地址：

830000 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市高新区(新市区)天津南路682号创业大厦1009室

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

南通宁竞智凡专利代理事务所(普通合伙) 32666

代理人：

蔡伟伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种光刻机框架及光刻机 [P].

张瑞平 ;

杨玉杰 .

中国专利 :CN209149068U ,2019-07-23

[2]

一种光刻机吸盘及光刻机 [P].

陈鹏 ;

余洋 ;

周伟 ;

施超 ;

董佳 .

中国专利 :CN223637883U ,2025-12-05

[3]

光刻机及光刻机的压板装置 [P].

胡刚 ;

陈东 ;

项宗齐 .

中国专利 :CN214375824U ,2021-10-08

[4]

一种光刻机 [P].

孙飞磊 ;

蔡亮 ;

吴鹏 .

中国专利 :CN209433182U ,2019-09-24

[5]

一种光刻机 [P].

李宏强 ;

魏泽勇 ;

曾威 ;

武超 ;

林彦霆 ;

黄宇宇 .

中国专利 :CN205958926U ,2017-02-15

[6]

一种光刻机 [P].

李西军 .

中国专利 :CN114442440A ,2022-05-06

[7]

林生财 ;

刘振辉 ;

王胜利 .

中国专利 :CN211123620U ,2020-07-28

[8]

安德烈·伊万金 ;

贾里德·A·玛格林 .

中国专利 :CN213240799U ,2021-05-18

[9]

曲鲁杰 ;

关远远 .

中国专利 :CN215219413U ,2021-12-17

[10]

一种双龙门光刻机 [P].

王华 ;

甘泉 .

中国专利 :CN216361913U ,2022-04-22

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