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一种光刻机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201822271064.1
申请日：
2018-12-29
公开(公告)号：
CN209433182U
公开(公告)日：
2019-09-24
发明(设计)人：
孙飞磊
蔡亮
吴鹏
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人：
郭四华
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-09-24 | 授权 | 授权 |