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一种光刻镜头及光刻机

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322414897.X
申请日：
2023-09-06
公开(公告)号：
CN220730509U
公开(公告)日：
2024-04-05
发明(设计)人：
李明
申请人：
无锡影速半导体科技有限公司
申请人地址：
214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园F3栋1-3层
IPC主分类号：
G02B13/00
IPC分类号：
G02B13/22 G02B1/00 G03F7/20
代理机构：
哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211
代理人：
于梦轩
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省 无锡市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-04-05 授权 授权
共 50 条
[1]
一种光刻镜头和光刻机 [P]. 
白昊东 ;
张柯 ;
张雷 .
中国专利 :CN223078599U ,2025-07-08
[2]
光刻机镜头 [P]. 
徐维良 ;
陈国军 ;
吴景舟 ;
马迪 .
中国专利 :CN223401142U ,2025-09-30
[3]
紫外光刻镜头以及光刻机 [P]. 
兰洋 ;
朱红伟 ;
邱盛平 .
中国专利 :CN223308543U ,2025-09-05
[4]
紫外光刻镜头以及光刻机 [P]. 
兰洋 ;
朱红伟 ;
邱盛平 .
中国专利 :CN223308544U ,2025-09-05
[5]
一种紫外光刻镜头和光刻机 [P]. 
陈劲松 ;
朱红伟 ;
邱盛平 .
中国专利 :CN221883995U ,2024-10-22
[6]
紫外宽光谱光刻镜头及具有其的光刻机 [P]. 
李鹏飞 ;
蔡潍 ;
杨宇航 .
中国专利 :CN215219411U ,2021-12-17
[7]
一种光刻机框架及光刻机 [P]. 
张瑞平 ;
杨玉杰 .
中国专利 :CN209149068U ,2019-07-23
[8]
一种光刻机吸盘及光刻机 [P]. 
陈鹏 ;
余洋 ;
周伟 ;
施超 ;
董佳 .
中国专利 :CN223637883U ,2025-12-05
[9]
紫外光刻镜头以及光刻机 [P]. 
兰洋 ;
朱红伟 ;
邱盛平 .
中国专利 :CN119414670A ,2025-02-11
[10]
紫外光刻镜头以及光刻机 [P]. 
兰洋 ;
朱红伟 ;
邱盛平 .
中国专利 :CN119414671A ,2025-02-11
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