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紫外光刻镜头以及光刻机

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411727554.1
申请日：
2024-11-28
公开(公告)号：
CN119414671A
公开(公告)日：
2025-02-11
发明(设计)人：
兰洋 朱红伟 邱盛平
申请人：
成都联江科技有限公司
申请人地址：
610000 四川省成都市中国(四川)自由贸易试验区成都市双流区西南航空港经济开发区黄甲街道双兴大道1号
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
G03F7/00 G02B13/14 G02B13/22 G02B13/00
代理机构：
深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287
代理人：
王正楠
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
江苏省 徐州市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-02-28 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20241128
2025-02-11 公开 公开
共 50 条
[1]
紫外光刻镜头以及光刻机 [P]. 
兰洋 ;
朱红伟 ;
邱盛平 .
中国专利 :CN119414670A ,2025-02-11
[2]
紫外光刻镜头以及光刻机 [P]. 
兰洋 ;
朱红伟 ;
邱盛平 .
中国专利 :CN223308543U ,2025-09-05
[3]
紫外光刻镜头以及光刻机 [P]. 
兰洋 ;
朱红伟 ;
邱盛平 .
中国专利 :CN223308544U ,2025-09-05
[4]
一种紫外光刻镜头和光刻机 [P]. 
陈劲松 ;
朱红伟 ;
邱盛平 .
中国专利 :CN221883995U ,2024-10-22
[5]
一种紫外光刻镜头和光刻机 [P]. 
陈劲松 ;
朱红伟 ;
邱盛平 .
中国专利 :CN118112761A ,2024-05-31
[6]
紫外窄光谱双远心光刻镜头以及光刻机 [P]. 
樊凯 ;
朱红伟 ;
邱盛平 .
中国专利 :CN217982125U ,2022-12-06
[7]
用于紫外光刻机的光刻照明系统 [P]. 
陈明 ;
朱菁 ;
杨宝喜 ;
曾爱军 ;
黄惠杰 ;
胡中华 ;
李璟 .
中国专利 :CN102929106B ,2013-02-13
[8]
光刻机镜头 [P]. 
徐维良 ;
陈国军 ;
吴景舟 ;
马迪 .
中国专利 :CN223401142U ,2025-09-30
[9]
一种紫外光刻物镜及光刻机 [P]. 
樊凯 ;
朱红伟 ;
邱盛平 .
中国专利 :CN118981098A ,2024-11-19
[10]
一种紫外光刻物镜及光刻机 [P]. 
樊凯 ;
朱红伟 ;
邱盛平 .
中国专利 :CN223078538U ,2025-07-08
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