一种光刻机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620887356.6

申请日：

2016-08-15

公开(公告)号：

CN205958926U

公开(公告)日：

2017-02-15

发明(设计)人：

李宏强魏泽勇曾威武超林彦霆黄宇宇

申请人：

申请人地址：

523808 广东省东莞市松山湖高新区创新科技园11号楼302

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215

代理人：

詹晓云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-02-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种光刻机及方法 [P].

李宏强 ;

魏泽勇 ;

曾威 ;

武超 ;

林彦霆 ;

黄宇宇 .

中国专利 :CN106094447B ,2016-11-09

[2]

曲鲁杰 ;

关远远 .

中国专利 :CN215219413U ,2021-12-17

[3]

一种紫外光刻机 [P].

陈杰相 .

中国专利 :CN214670080U ,2021-11-09

[4]

一种光刻机框架及光刻机 [P].

张瑞平 ;

杨玉杰 .

中国专利 :CN209149068U ,2019-07-23

[5]

一种光刻机吸盘及光刻机 [P].

陈鹏 ;

余洋 ;

周伟 ;

施超 ;

董佳 .

中国专利 :CN223637883U ,2025-12-05

[6]

一种光刻机 [P].

孙飞磊 ;

蔡亮 ;

吴鹏 .

中国专利 :CN209433182U ,2019-09-24

[7]

一种光刻机 [P].

张爱玲 .

中国专利 :CN218298765U ,2023-01-13

[8]

林生财 ;

刘振辉 ;

王胜利 .

中国专利 :CN211123620U ,2020-07-28

[9]

安德烈·伊万金 ;

贾里德·A·玛格林 .

中国专利 :CN213240799U ,2021-05-18

[10]

梁弄 ;

王章 ;

倪沁心 ;

陈建明 ;

杨大昆 .

中国专利 :CN118759811A ,2024-10-11

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