步进扫描投影光刻机的照明系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310270245.1

申请日：

2013-07-01

公开(公告)号：

CN103412465B

公开(公告)日：

2013-11-27

发明(设计)人：

曾爱军陈立群方瑞芳黄惠杰

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区800－211邮政信箱

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

张泽纯

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-22	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/20 登记生效日:20190929 变更事项:专利权人变更前权利人:中国科学院上海光学精密机械研究所变更后权利人:北京国望光学科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:201800 上海市嘉定区800－211邮政信箱变更后权利人:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区景园北街2号52幢6层601-10室
2013-12-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101555323828 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013102702451 申请日:20130701
2015-04-15	授权	授权
2013-11-27	公开	公开

共 50 条

[1]

步进扫描投影光刻机同步控制系统 [P].

刘世元 ;

陈勇辉 ;

池蜂 ;

周畅 ;

韦学志 .

中国专利 :CN100485534C ,2008-03-26

[2]

步进投影光刻机 [P].

刘正浩 ;

何渝 ;

唐燕 ;

刘俊伯 ;

杜婧 ;

冯金花 .

中国专利 :CN305302764S ,2019-08-13

[3]

步进投影光刻机 [P].

蒋薇 ;

王楠 ;

胡松 .

中国专利 :CN303108010S ,2015-02-18

[4]

步进扫描投影光刻机同步控制器 [P].

刘世元 ;

陈勇辉 ;

池蜂 ;

周畅 ;

韦学志 .

中国专利 :CN101149567A ,2008-03-26

[5]

步进扫描投影光刻机中的杂散光原位检测方法 [P].

郭立萍 ;

王向朝 .

中国专利 :CN100409102C ,2005-08-17

[6]

步进扫描投影光刻机同步总线控制方法 [P].

刘世元 ;

陈勇辉 ;

池蜂 ;

周畅 ;

韦学志 .

中国专利 :CN100361112C ,2005-08-03

[7]

硬件同步控制系统及其控制方法、步进扫描投影光刻机 [P].

陈丹 ;

谢仁飚 .

中国专利 :CN115616866B ,2025-09-30

[8]

硬件同步控制系统及其控制方法、步进扫描投影光刻机 [P].

陈丹 ;

谢仁飚 .

中国专利 :CN115616866A ,2023-01-17

[9]

步进扫描投影光刻机的高速同步广播总线及总线平台 [P].

刘世元 ;

陈勇辉 ;

韦学志 ;

池蜂 .

中国专利 :CN1648890A ,2005-08-03

[10]

扫描式投影光刻机物镜 [P].

王之江 .

中国专利 :CN85104369B ,1986-12-03

← 1 2 3 4 5 →