步进扫描投影光刻机中的杂散光原位检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510024229.X

申请日：

2005-03-07

公开(公告)号：

CN100409102C

公开(公告)日：

2005-08-17

发明(设计)人：

郭立萍王向朝

申请人：

申请人地址：

201203上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G01M1100

代理机构：

上海新天专利代理有限公司

代理人：

王敏杰

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-08-17	公开	公开
2008-08-06	授权	授权
2018-01-12	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备（集团）股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号
2005-10-12	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

步进扫描投影光刻机的照明系统 [P].

曾爱军 ;

陈立群 ;

方瑞芳 ;

黄惠杰 .

中国专利 :CN103412465B ,2013-11-27

[2]

步进投影光刻机 [P].

刘正浩 ;

何渝 ;

唐燕 ;

刘俊伯 ;

杜婧 ;

冯金花 .

中国专利 :CN305302764S ,2019-08-13

[3]

步进投影光刻机 [P].

蒋薇 ;

王楠 ;

胡松 .

中国专利 :CN303108010S ,2015-02-18

[4]

步进扫描投影光刻机同步控制系统 [P].

刘世元 ;

陈勇辉 ;

池蜂 ;

周畅 ;

韦学志 .

中国专利 :CN100485534C ,2008-03-26

[5]

步进扫描投影光刻机同步控制器 [P].

刘世元 ;

陈勇辉 ;

池蜂 ;

周畅 ;

韦学志 .

中国专利 :CN101149567A ,2008-03-26

[6]

步进扫描投影光刻机同步总线控制方法 [P].

刘世元 ;

陈勇辉 ;

池蜂 ;

周畅 ;

韦学志 .

中国专利 :CN100361112C ,2005-08-03

[7]

硬件同步控制系统及其控制方法、步进扫描投影光刻机 [P].

陈丹 ;

谢仁飚 .

中国专利 :CN115616866B ,2025-09-30

[8]

光刻机投影物镜偏振像差原位检测方法 [P].

涂远莹 ;

王向朝 ;

步扬 .

中国专利 :CN103197512B ,2013-07-10

[9]

硬件同步控制系统及其控制方法、步进扫描投影光刻机 [P].

陈丹 ;

谢仁飚 .

中国专利 :CN115616866A ,2023-01-17

[10]

光刻机投影物镜偏振像差原位检测方法 [P].

沈丽娜 ;

王向朝 ;

李思坤 ;

闫观勇 ;

诸波尔 ;

张恒 ;

孟泽江 .

中国专利 :CN105319869B ,2016-02-10

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