步进扫描光刻机控制方法与系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310670336.4

申请日：

2013-12-10

公开(公告)号：

CN104698765B

公开(公告)日：

2015-06-10

发明(设计)人：

谢仁飚聂仕华

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G05B19418

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-29	授权	授权
2015-06-10	公开	公开
2017-08-11	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101757031018 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013106703364 变更事项:申请人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号
2015-07-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101616036053 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013106703364 申请日:20131210

共 50 条

[1]

步进扫描光刻机连续扫描同步控制方法和系统 [P].

刘世元 ;

裴辛哲 ;

周畅 ;

陈勇辉 .

中国专利 :CN1259691C ,2005-03-02

[2]

步进扫描投影光刻机同步控制系统 [P].

刘世元 ;

陈勇辉 ;

池蜂 ;

周畅 ;

韦学志 .

中国专利 :CN100485534C ,2008-03-26

[3]

步进扫描光刻机双台交换系统 [P].

刘亚忠 ;

崔继文 ;

王绍腾 .

中国专利 :CN102122120A ,2011-07-13

[4]

步进扫描光刻机双台交换定位系统 [P].

李映笙 ;

李小平 .

中国专利 :CN1828427A ,2006-09-06

[5]

步进扫描投影光刻机同步总线控制方法 [P].

刘世元 ;

陈勇辉 ;

池蜂 ;

周畅 ;

韦学志 .

中国专利 :CN100361112C ,2005-08-03

[6]

用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置 [P].

林栋梁 ;

马兴华 ;

任冰强 ;

程伟林 ;

张友宝 ;

钱珍梅 ;

屈建峰 ;

孙征宇 ;

黄惠杰 .

中国专利 :CN103439865A ,2013-12-11

[7]

步进扫描投影光刻机同步控制器 [P].

刘世元 ;

陈勇辉 ;

池蜂 ;

周畅 ;

韦学志 .

中国专利 :CN101149567A ,2008-03-26

[8]

步进扫描光刻机晶片台掩模台同步控制系统 [P].

朱涛 ;

李艳秋 .

中国专利 :CN1967386A ,2007-05-23

[9]

步进扫描投影光刻机的照明系统 [P].

曾爱军 ;

陈立群 ;

方瑞芳 ;

黄惠杰 .

中国专利 :CN103412465B ,2013-11-27

[10]

用于步进扫描光刻机的自动同步调焦系统 [P].

张琪 ;

符友银 .

中国专利 :CN117055306B ,2024-01-16

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