步进扫描光刻机双台交换系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110069546.9

申请日：

2011-03-22

公开(公告)号：

CN102122120A

公开(公告)日：

2011-07-13

发明(设计)人：

刘亚忠崔继文王绍腾

申请人：

申请人地址：

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H01L2168 G03F900

代理机构：

哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109

代理人：

高媛

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-07-13	公开	公开
2013-01-30	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101506598733 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2011100695469 申请公布日:20110713
2011-08-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101100309475 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2011100695469 申请日:20110322

共 50 条

[1]

步进扫描光刻机双台交换定位系统 [P].

李映笙 ;

李小平 .

中国专利 :CN1828427A ,2006-09-06

[2]

光刻机硅片台双台交换系统 [P].

朱煜 ;

陈亚英 ;

张鸣 ;

徐登峰 ;

汪劲松 .

中国专利 :CN102141739A ,2011-08-03

[3]

光刻机硅片台双台交换系统及其交换方法 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

徐登峰 ;

汪劲松 ;

董立立 ;

胡金春 ;

尹文生 ;

杨开明 ;

段广洪 ;

马竞 ;

张利 .

中国专利 :CN101727019B ,2010-06-09

[4]

一种光刻机硅片台双台交换系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

李广 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

贾松涛 .

中国专利 :CN101101454A ,2008-01-09

[5]

一种光刻机硅片台双台交换系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

田丽 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

胡金春 .

中国专利 :CN101551599A ,2009-10-07

[6]

一种光刻机硅片台双台交换系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

田丽 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

胡金春 .

中国专利 :CN101571676B ,2009-11-04

[7]

一种光刻机硅片台双台交换系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

田丽 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

胡金春 .

中国专利 :CN101551598A ,2009-10-07

[8]

一种光刻机硅片台双台交换系统 [P].

王天明 ;

顾鲜红 ;

郑乐平 .

中国专利 :CN102193319B ,2011-09-21

[9]

采用过渡承接装置的光刻机硅片台双台交换系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

胡金春 ;

杨开明 ;

李广 ;

闵伟 ;

段广洪 .

中国专利 :CN201181389Y ,2009-01-14

[10]

一种采用十字导轨的光刻机硅片台双台交换系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

胡金春 ;

杨开明 ;

李广 ;

闵伟 ;

段广洪 .

中国专利 :CN100570496C ,2008-07-16

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