一种光刻机硅片台双台交换系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910131505.0

申请日：

2009-04-03

公开(公告)号：

CN101551598A

公开(公告)日：

2009-10-07

发明(设计)人：

朱煜张鸣汪劲松田丽徐登峰尹文生段广洪胡金春

申请人：

申请人地址：

100084北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司

代理人：

邸更岩

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-12-01	授权	授权
2015-12-02	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101724516855 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2009101315050 登记生效日:20151112 变更事项:专利权人变更前权利人:清华大学变更后权利人:清华大学变更事项:地址变更前权利人:100084 北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室变更后权利人:100084 北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室变更事项:专利权人变更前权利人:无变更后权利人:北京华卓精科科技股份有限公司
2009-12-02	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-10-07	公开	公开

共 50 条

[1]

一种光刻机硅片台双台交换系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

李广 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

贾松涛 .

中国专利 :CN101101454A ,2008-01-09

[2]

光刻机硅片台双台交换系统 [P].

朱煜 ;

陈亚英 ;

张鸣 ;

徐登峰 ;

汪劲松 .

中国专利 :CN102141739A ,2011-08-03

[3]

一种光刻机硅片台双台交换系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

田丽 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

胡金春 .

中国专利 :CN101551599A ,2009-10-07

[4]

一种光刻机硅片台双台交换系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

田丽 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

胡金春 .

中国专利 :CN101571676B ,2009-11-04

[5]

光刻机硅片台双台交换系统及其交换方法 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

徐登峰 ;

汪劲松 ;

董立立 ;

胡金春 ;

尹文生 ;

杨开明 ;

段广洪 ;

马竞 ;

张利 .

中国专利 :CN101727019B ,2010-06-09

[6]

一种光刻机硅片台双台交换系统 [P].

王天明 ;

顾鲜红 ;

郑乐平 .

中国专利 :CN102193319B ,2011-09-21

[7]

步进扫描光刻机双台交换系统 [P].

刘亚忠 ;

崔继文 ;

王绍腾 .

中国专利 :CN102122120A ,2011-07-13

[8]

一种光刻机硅片台双台交换装置 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

李广 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

贾松涛 .

中国专利 :CN201364460Y ,2009-12-16

[9]

一种光刻机硅片台双台交换装置 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

李广 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

贾松涛 .

中国专利 :CN201364459Y ,2009-12-16

[10]

一种采用十字导轨的光刻机硅片台双台交换系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

胡金春 ;

杨开明 ;

李广 ;

闵伟 ;

段广洪 .

中国专利 :CN100570496C ,2008-07-16

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