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保护膜覆盖方法和保护膜覆盖装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201510504881.5
申请日：
2015-08-17
公开(公告)号：
CN105390405A
公开(公告)日：
2016-03-09
发明(设计)人：
小田中健太郎
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L2156
IPC分类号：
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
李辉;黄纶伟
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-06-14 | 授权 | 授权 |
| 2016-03-09 | 公开 | 公开 |
| 2017-08-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101741192128 IPC(主分类):H01L 21/56 专利申请号:2015105048815 申请日:20150817 |