一种镀膜进气结构

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201721113808.6
申请日
2017-09-01
公开(公告)号
CN207227546U
公开(公告)日
2018-04-13
发明(设计)人
朱广东 杨玉杰 刘金浩 庄正军 上官泉元
申请人
申请人地址
213164 江苏省常州市武进高新区凤翔路7号
IPC主分类号
C23C16455
IPC分类号
代理机构
北京集智东方知识产权代理有限公司 11578
代理人
张红;程立民
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种镀膜进气结构 [P]. 
朱广东 ;
杨玉杰 ;
刘金浩 ;
庄正军 ;
上官泉元 .
中国专利 :CN107385416A ,2017-11-24
[2]
一种应用于溅射镀膜设备中的进气结构 [P]. 
高佳 ;
周征华 ;
宋加杰 ;
赵金雷 ;
王随随 .
中国专利 :CN223445624U ,2025-10-17
[3]
一种进气结构 [P]. 
卢楚鹏 ;
麦贵杨 ;
张煜圣 ;
莫志邦 .
中国专利 :CN216744330U ,2022-06-14
[4]
一种进气结构 [P]. 
文际源 ;
翟冲益 ;
卞卡 .
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[5]
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[8]
一种进气结构 [P]. 
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李勇滔 ;
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一种进气结构 [P]. 
关杰超 .
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