抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911129096.0

申请日：

2019-11-18

公开(公告)号：

CN111198479A

公开(公告)日：

2020-05-26

发明(设计)人：

斋藤彩河野绅一大野庆晃砂道智成

申请人：

申请人地址：

日本国神奈川县

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

G03F720 G03F726

代理机构：

上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291

代理人：

毛立群

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20191118
2020-05-26	公开	公开

共 50 条

[1]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

斋藤彩 ;

河野绅一 ;

大野庆晃 ;

砂道智成 .

日本专利 :CN111198479B ,2024-05-28

[2]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

砂道智成 ;

中川裕介 ;

米村幸治 ;

平野智之 ;

齐藤彩 .

中国专利 :CN112445067A ,2021-03-05

[3]

抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案形成方法 [P].

熊田信次 ;

前盛谕 ;

新井雅俊 ;

盐野大寿 .

中国专利 :CN102621807A ,2012-08-01

[4]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

丹野一石 ;

中村刚 ;

赵恩率 .

日本专利 :CN110275395B ,2024-05-17

[5]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

染谷康夫 ;

海保贵昭 ;

阿出川穂 .

中国专利 :CN114746807A ,2022-07-12

[6]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

丹野一石 ;

中村刚 ;

赵恩率 .

中国专利 :CN110275395A ,2019-09-24

[7]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

砂道智成 ;

河野绅一 ;

大野庆晃 ;

白木雄哲 ;

齐藤彩 .

中国专利 :CN110716390A ,2020-01-21

[8]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

生川智启 ;

藤崎真史 ;

长峰高志 ;

高木大地 .

中国专利 :CN110192151A ,2019-08-30

[9]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

平野智之 ;

米村幸治 ;

中川裕介 .

中国专利 :CN112987497A ,2021-06-18

[10]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

染谷康夫 ;

海保贵昭 ;

阿出川穂 .

日本专利 :CN114746807B ,2025-07-08

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