抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010859849.X

申请日：

2020-08-24

公开(公告)号：

CN112445067A

公开(公告)日：

2021-03-05

发明(设计)人：

砂道智成中川裕介米村幸治平野智之齐藤彩

申请人：

申请人地址：

日本国神奈川县

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

代理机构：

上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291

代理人：

陈亦欧;毛立群

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-05	公开	公开
2022-04-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20200824

共 50 条

[1]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

斋藤彩 ;

河野绅一 ;

大野庆晃 ;

砂道智成 .

日本专利 :CN111198479B ,2024-05-28

[2]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

斋藤彩 ;

河野绅一 ;

大野庆晃 ;

砂道智成 .

中国专利 :CN111198479A ,2020-05-26

[3]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

平山文武 ;

平野智之 ;

吉田裕三 ;

河野绅一 ;

中川裕介 .

中国专利 :CN112882341A ,2021-06-01

[4]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

砂道智成 ;

河野绅一 ;

大野庆晃 ;

白木雄哲 ;

齐藤彩 .

中国专利 :CN110716390A ,2020-01-21

[5]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

平山文武 ;

平野智之 ;

吉田裕三 ;

河野绅一 ;

中川裕介 .

日本专利 :CN112882341B ,2025-11-07

[6]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

生川智启 ;

藤崎真史 ;

长峰高志 ;

高木大地 .

中国专利 :CN110192151A ,2019-08-30

[7]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

大野庆晃 ;

河野绅一 .

中国专利 :CN110673438A ,2020-01-10

[8]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

丹野一石 ;

中村刚 ;

赵恩率 .

日本专利 :CN110275395B ,2024-05-17

[9]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

染谷康夫 ;

海保贵昭 ;

阿出川穂 .

中国专利 :CN114746807A ,2022-07-12

[10]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

长峰高志 ;

海保贵昭 ;

中村刚 .

中国专利 :CN111149057A ,2020-05-12

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