抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010859849.X

申请日：

2020-08-24

公开(公告)号：

CN112445067A

公开(公告)日：

2021-03-05

发明(设计)人：

砂道智成中川裕介米村幸治平野智之齐藤彩

申请人：

申请人地址：

日本国神奈川县

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

代理机构：

上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291

代理人：

陈亦欧;毛立群

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-05	公开	公开
2022-04-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20200824

共 50 条

[31]

抗蚀基材、抗蚀剂组合物及抗蚀图案形成方法 [P].

樋田匠 ;

越后雅敏 ;

佐藤隆 ;

清水洋子 .

中国专利 :CN107533290B ,2018-01-02

[32]

抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

砂道智成 ;

桥本阳奈 ;

平野智之 ;

中川裕介 .

日本专利 :CN118414582A ,2024-07-30

[33]

抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

宫崎诚太 ;

平山文武 ;

河野绅一 ;

中川裕介 .

日本专利 :CN118613766A ,2024-09-06

[34]

抗蚀剂图案形成方法及抗蚀剂 [P].

阿部信纪 ;

佐藤信宽 .

中国专利 :CN108700835B ,2018-10-23

[35]

正型抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

木下洋平 .

中国专利 :CN101198905A ,2008-06-11

[36]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

河野绅一 ;

白木雄哲 ;

大野庆晃 ;

齐藤彩 ;

砂道智成 .

中国专利 :CN111542782A ,2020-08-14

[37]

正型抗蚀剂组合物、抗蚀图案形成方法 [P].

染谷和也 ;

山口敏弘 ;

青木知三郎 .

中国专利 :CN102650830B ,2012-08-29

[38]

抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案形成方法、产酸剂成分以及化合物 [P].

长峰高志 ;

远藤浩太朗 ;

生川智启 .

中国专利 :CN106980232A ,2017-07-25

[39]

抗蚀剂组合物及抗蚀图案形成方法 [P].

铃木贵大 ;

土门大将 ;

小竹正晃 ;

增永惠一 ;

渡边聪 .

中国专利 :CN109212903A ,2019-01-15

[40]

抗蚀剂组合物及抗蚀图案形成方法 [P].

长峰高志 ;

中村刚 .

中国专利 :CN107844030A ,2018-03-27

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