抗蚀剂图案形成方法及抗蚀剂

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780010236.5

申请日：

2017-03-15

公开(公告)号：

CN108700835B

公开(公告)日：

2018-10-23

发明(设计)人：

阿部信纪佐藤信宽

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G03F738

IPC分类号：

G03F7004 G03F7038 G03F720 G03F726 H01L21027

代理机构：

北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413

代理人：

邵秋雨;赵曦

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/38 申请日:20170315
2022-05-27	授权	授权
2018-10-23	公开	公开

共 50 条

[1]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

佐藤信宽 .

中国专利 :CN110383172A ,2019-10-25

[2]

抗蚀剂图案涂布剂和使用其的抗蚀剂图案形成方法 [P].

矢田勇二 ;

庵野祐亮 ;

柿泽友洋 ;

堀雅史 ;

三田伦广 ;

若松刚史 .

中国专利 :CN102187282A ,2011-09-14

[3]

抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

平野智之 ;

砂道智成 ;

桥本阳奈 ;

中川裕介 .

日本专利 :CN118401895A ,2024-07-26

[4]

抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

岩下勇介 ;

齐藤彩 ;

米村幸治 ;

中川裕介 .

日本专利 :CN119654597A ,2025-03-18

[5]

抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

平野智之 ;

砂道智成 ;

桥本阳奈 ;

中川裕介 .

日本专利 :CN118451370A ,2024-08-06

[6]

抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

高木大地 ;

中村刚 ;

板垣友祐 .

日本专利 :CN116745699B ,2024-03-22

[7]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

河野绅一 ;

白木雄哲 ;

大野庆晃 ;

齐藤彩 ;

砂道智成 .

中国专利 :CN111542782A ,2020-08-14

[8]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

菊地骏 ;

草间理志 ;

大山皓介 ;

大桥正树 .

日本专利 :CN120779666A ,2025-10-14

[9]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

菊地骏 ;

大山皓介 ;

草间理志 ;

大桥正树 .

日本专利 :CN121115404A ,2025-12-12

[10]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

菊地骏 ;

草间理志 ;

大山皓介 ;

大桥正树 .

日本专利 :CN120779665A ,2025-10-14

← 1 2 3 4 5 →