抗蚀剂图案涂布剂和使用其的抗蚀剂图案形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980141606.4

申请日：

2009-10-21

公开(公告)号：

CN102187282A

公开(公告)日：

2011-09-14

发明(设计)人：

矢田勇二庵野祐亮柿泽友洋堀雅史三田伦广若松刚史

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F740

IPC分类号：

H01L21027

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

左嘉勋;顾晋伟

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-01-01	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101684503266 IPC(主分类):G03F 7/40 专利申请号:2009801416064 申请公布日:20110914
2011-11-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101127139398 IPC(主分类):G03F 7/40 专利申请号:2009801416064 申请日:20091021
2011-09-14	公开	公开

共 50 条

[1]

抗蚀剂图案形成方法及抗蚀剂 [P].

阿部信纪 ;

佐藤信宽 .

中国专利 :CN108700835B ,2018-10-23

[2]

抗蚀剂图案形成方法和抗蚀剂图案形成系统 [P].

中田胜之 ;

服部一博 .

中国专利 :CN1530745A ,2004-09-22

[3]

抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案形成方法 [P].

熊田信次 ;

前盛谕 ;

新井雅俊 ;

盐野大寿 .

中国专利 :CN102621807A ,2012-08-01

[4]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

佐藤信宽 .

中国专利 :CN110383172A ,2019-10-25

[5]

抗蚀剂图案形成方法和抗蚀剂材料 [P].

田川精一 .

中国专利 :CN108292094B ,2018-07-17

[6]

抗蚀剂图案形成方法、抗蚀剂潜像形成装置、抗蚀剂图案形成装置和抗蚀剂材料 [P].

田川精一 ;

大岛明博 .

中国专利 :CN105164789A ,2015-12-16

[7]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

志村英一 .

中国专利 :CN115087928A ,2022-09-20

[8]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

河野绅一 ;

白木雄哲 ;

大野庆晃 ;

齐藤彩 ;

砂道智成 .

中国专利 :CN111542782A ,2020-08-14

[9]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

菊地骏 ;

草间理志 ;

大山皓介 ;

大桥正树 .

日本专利 :CN120779666A ,2025-10-14

[10]

抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

宫崎诚太 ;

平山文武 ;

河野绅一 ;

中川裕介 .

日本专利 :CN118613766A ,2024-09-06

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