抗蚀剂图案形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880014518.7

申请日：

2018-02-21

公开(公告)号：

CN110383172A

公开(公告)日：

2019-10-25

发明(设计)人：

佐藤信宽

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G03F7012

IPC分类号：

G03F720 G03F740

代理机构：

北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413

代理人：

邵秋雨;刘继富

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-25	公开	公开
2020-11-06	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):G03F 7/012 申请公布日:20191025
2019-11-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/012 申请日:20180221

共 50 条

[1]

抗蚀剂图案形成方法及抗蚀剂 [P].

阿部信纪 ;

佐藤信宽 .

中国专利 :CN108700835B ,2018-10-23

[2]

抗蚀剂图案涂布剂和使用其的抗蚀剂图案形成方法 [P].

矢田勇二 ;

庵野祐亮 ;

柿泽友洋 ;

堀雅史 ;

三田伦广 ;

若松刚史 .

中国专利 :CN102187282A ,2011-09-14

[3]

抗蚀剂图案的形成方法 [P].

岩井武 ;

岩下淳 .

中国专利 :CN101099114B ,2008-01-02

[4]

抗蚀剂图案形成方法和抗蚀剂图案形成系统 [P].

中田胜之 ;

服部一博 .

中国专利 :CN1530745A ,2004-09-22

[5]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

河野绅一 ;

白木雄哲 ;

大野庆晃 ;

齐藤彩 ;

砂道智成 .

中国专利 :CN111542782A ,2020-08-14

[6]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

菊地骏 ;

草间理志 ;

大山皓介 ;

大桥正树 .

日本专利 :CN120779666A ,2025-10-14

[7]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

白木雄哲 ;

河野绅一 ;

大野庆晃 ;

砂道智成 ;

齐藤彩 .

中国专利 :CN111566562A ,2020-08-21

[8]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

菊地骏 ;

大山皓介 ;

草间理志 ;

大桥正树 .

日本专利 :CN121115404A ,2025-12-12

[9]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

八木巧司 .

中国专利 :CN1786830A ,2006-06-14

[10]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

志村英一 .

中国专利 :CN115087928A ,2022-09-20

← 1 2 3 4 5 →