抗蚀剂图案的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200580046147.3

申请日：

2005-11-08

公开(公告)号：

CN101099114B

公开(公告)日：

2008-01-02

发明(设计)人：

岩井武岩下淳

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

G03F726

IPC分类号：

G03F7038 G03F7039 H01L21027

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

朱丹

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-02-27	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-01-02	公开	公开
2010-12-22	授权	授权

共 50 条

[1]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

佐藤信宽 .

中国专利 :CN110383172A ,2019-10-25

[2]

抗蚀剂图案形成方法和抗蚀剂图案形成系统 [P].

中田胜之 ;

服部一博 .

中国专利 :CN1530745A ,2004-09-22

[3]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

河野绅一 ;

白木雄哲 ;

大野庆晃 ;

齐藤彩 ;

砂道智成 .

中国专利 :CN111542782A ,2020-08-14

[4]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

菊地骏 ;

草间理志 ;

大山皓介 ;

大桥正树 .

日本专利 :CN120779666A ,2025-10-14

[5]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

白木雄哲 ;

河野绅一 ;

大野庆晃 ;

砂道智成 ;

齐藤彩 .

中国专利 :CN111566562A ,2020-08-21

[6]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

菊地骏 ;

大山皓介 ;

草间理志 ;

大桥正树 .

日本专利 :CN121115404A ,2025-12-12

[7]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

八木巧司 .

中国专利 :CN1786830A ,2006-06-14

[8]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

志村英一 .

中国专利 :CN115087928A ,2022-09-20

[9]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

星野学 .

中国专利 :CN111480116A ,2020-07-31

[10]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

田川精一 .

中国专利 :CN112272798A ,2021-01-26

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