抗蚀剂图案形成方法

被引：0

申请号：

CN202180014457.6

申请日：

2021-02-09

公开(公告)号：

CN115087928A

公开(公告)日：

2022-09-20

发明(设计)人：

志村英一

申请人：

申请人地址：

日本国神奈川县

IPC主分类号：

G03F7039

IPC分类号：

C08F11214 C08F11234 C08F21214 C08F22018 G03F720

代理机构：

上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291

代理人：

毛立群

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-20	公开	公开

共 50 条

[1]

抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案形成方法 [P].

熊田信次 ;

前盛谕 ;

新井雅俊 ;

盐野大寿 .

中国专利 :CN102621807A ,2012-08-01

[2]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

丹野一石 ;

中村刚 ;

赵恩率 .

日本专利 :CN110275395B ,2024-05-17

[3]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

丹野一石 ;

中村刚 ;

赵恩率 .

中国专利 :CN110275395A ,2019-09-24

[4]

抗蚀剂图案形成方法 [P].

白木雄哲 ;

河野绅一 ;

大野庆晃 ;

砂道智成 ;

齐藤彩 .

中国专利 :CN111566562A ,2020-08-21

[5]

抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

中村刚 .

中国专利 :CN112673316A ,2021-04-16

[6]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

染谷康夫 ;

海保贵昭 ;

阿出川穂 .

中国专利 :CN114746807A ,2022-07-12

[7]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

砂道智成 ;

河野绅一 ;

大野庆晃 ;

白木雄哲 ;

齐藤彩 .

中国专利 :CN110716390A ,2020-01-21

[8]

抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

中村刚 .

日本专利 :CN112673316B ,2024-01-23

[9]

抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

宫崎诚太 ;

平山文武 ;

河野绅一 ;

中川裕介 .

日本专利 :CN118613766A ,2024-09-06

[10]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

染谷康夫 ;

海保贵昭 ;

阿出川穂 .

日本专利 :CN114746807B ,2025-07-08

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