抗蚀剂组合物及抗蚀图案形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810721204.2

申请日：

2018-07-04

公开(公告)号：

CN109212903A

公开(公告)日：

2019-01-15

发明(设计)人：

铃木贵大土门大将小竹正晃增永惠一渡边聪

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F7039

IPC分类号：

G03F7004

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

张晶;谢顺星

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-15	公开	公开
2022-03-29	授权	授权
2019-02-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/039 申请日:20180704

共 50 条

[1]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

染谷康夫 ;

海保贵昭 ;

阿出川穂 .

中国专利 :CN114746807A ,2022-07-12

[2]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

染谷康夫 ;

海保贵昭 ;

阿出川穂 .

日本专利 :CN114746807B ,2025-07-08

[3]

抗蚀剂组合物及抗蚀图案形成方法 [P].

藤崎真史 ;

土屋纯一 ;

远藤浩太朗 .

中国专利 :CN108693703B ,2018-10-23

[4]

抗蚀剂组合物及抗蚀图案形成方法 [P].

长峰高志 ;

中村刚 .

中国专利 :CN107844030A ,2018-03-27

[5]

抗蚀剂组合物及抗蚀图案形成方法 [P].

长峰高志 ;

中村刚 .

中国专利 :CN107844031A ,2018-03-27

[6]

抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

中村刚 .

中国专利 :CN112673316A ,2021-04-16

[7]

抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

平野智之 ;

砂道智成 ;

桥本阳奈 ;

中川裕介 .

日本专利 :CN118401895A ,2024-07-26

[8]

抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

中村刚 .

日本专利 :CN112673316B ,2024-01-23

[9]

抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

高木大地 ;

中村刚 ;

板垣友祐 .

日本专利 :CN116745699B ,2024-03-22

[10]

抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案形成方法 [P].

熊田信次 ;

前盛谕 ;

新井雅俊 ;

盐野大寿 .

中国专利 :CN102621807A ,2012-08-01

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