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抗蚀基材、抗蚀剂组合物及抗蚀图案形成方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201680020019.X
申请日：
2016-03-17
公开(公告)号：
CN107533290B
公开(公告)日：
2018-01-02
发明(设计)人：
樋田匠
越后雅敏
佐藤隆
清水洋子
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
G03F7004
IPC分类号：
C08G8300
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇;李茂家
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-01-02 | 公开 | 公开 |
| 2018-02-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20160317 |
| 2021-04-09 | 授权 | 授权 |