一种全自动硅片清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921135674.7

申请日：

2019-07-19

公开(公告)号：

CN210449959U

公开(公告)日：

2020-05-05

发明(设计)人：

侯继伟

申请人：

申请人地址：

310023 浙江省杭州市西湖区留和路318号

IPC主分类号：

B08B100

IPC分类号：

B08B102 B08B312 H01L2167

代理机构：

淮安睿合知识产权代理事务所(普通合伙) 32372

代理人：

赵霎

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-05	授权	授权
2022-07-08	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 1/00 申请日:20190719 授权公告日:20200505 终止日期:20210719

共 50 条

[1]

一种全自动硅片清洗装置 [P].

侯继伟 .

中国专利 :CN110328166A ,2019-10-15

[2]

一种全自动蚀刻清洗装置 [P].

马卓 ;

吴成福 .

中国专利 :CN206877973U ,2018-01-12

[3]

一种全自动清洗机 [P].

丁铿昌 ;

全秋生 .

中国专利 :CN212792039U ,2021-03-26

[4]

一种全自动硅片清洗装置 [P].

季丽 ;

王松华 ;

聂海洲 ;

余志兵 .

中国专利 :CN108554922A ,2018-09-21

[5]

一种全自动硅片清洗装置 [P].

季丽 ;

王松华 ;

聂海洲 ;

余志兵 .

中国专利 :CN208772020U ,2019-04-23

[6]

一种全自动蚀刻清洗装置 [P].

韦建敏 ;

赵兴文 ;

张晓蓓 ;

张小波 .

中国专利 :CN204616208U ,2015-09-02

[7]

一种全自动墨盒清洗装置 [P].

麦国良 .

中国专利 :CN207510036U ,2018-06-19

[8]

硅片自动清洗装置 [P].

孙铁囤 ;

姚伟忠 ;

汤平 .

中国专利 :CN206483772U ,2017-09-12

[9]

一种硅片花篮的自动清洗装置 [P].

王丽婷 ;

刘海涛 ;

许伟 ;

谢文君 .

中国专利 :CN209272034U ,2019-08-20

[10]

一种硅片的清洗装置 [P].

曾磊 ;

张玉玉 ;

张乃文 .

中国专利 :CN209829704U ,2019-12-24

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