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制备TFT-LCD阵列基板铜导线用靶材的方法及靶材
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201210174287.0
申请日：
2012-05-30
公开(公告)号：
CN102703869A
公开(公告)日：
2012-10-03
发明(设计)人：
寇浩
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号
IPC主分类号：
C23C1434
IPC分类号：
C23C1414
B22F3105
代理机构：
深圳市德力知识产权代理事务所 44265
代理人：
林才桂
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-11-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101353320080 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2012101742870 申请日:20120530 |
| 2012-10-03 | 公开 | 公开 |
| 2016-07-06 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101735311182 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2012101742870 申请公布日:20121003 |