靶材、靶材的制造方法及平板状靶

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580032190.8

申请日：

2015-05-25

公开(公告)号：

CN106460163A

公开(公告)日：

2017-02-22

发明(设计)人：

世良佳弘石田新太郎矢野智泰

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

B24B2706 B28D122

代理机构：

北京戈程知识产权代理有限公司 11314

代理人：

程伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101725558392 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2015800321908 申请日:20150525
2017-02-22	公开	公开
2020-09-04	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 14/34 申请公布日:20170222

共 50 条

[1]

MoNb靶材 [P].

福冈淳 ;

青木大辅 ;

齐藤和也 ;

上野英 .

中国专利 :CN109207941A ,2019-01-15

[2]

靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

王学泽 ;

李健成 ;

周伟君 .

中国专利 :CN105618886A ,2016-06-01

[3]

靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

段高林 .

中国专利 :CN108149203A ,2018-06-12

[4]

溅射用靶材及其制造方法 [P].

小泽诚 ;

安东勋雄 .

中国专利 :CN106574359A ,2017-04-19

[5]

铟靶材及其制造方法 [P].

前川贵诚 ;

远藤瑶辅 .

中国专利 :CN104480435A ,2015-04-01

[6]

铟靶材及其制造方法 [P].

前川贵诚 ;

远藤瑶辅 .

中国专利 :CN102652185A ,2012-08-29

[7]

靶材的喷砂方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

喻洁 .

中国专利 :CN104511841A ,2015-04-15

[8]

钛靶材的加工方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

鲍伟江 ;

刘庆 .

中国专利 :CN101613851B ,2009-12-30

[9]

靶材的处理方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

高建 .

中国专利 :CN103481199B ,2014-01-01

[10]

铜靶材的加工方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

鲍伟江 ;

刘庆 .

中国专利 :CN101619429A ,2010-01-06

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