铟靶材及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180004844.8

申请日：

2011-05-12

公开(公告)号：

CN102652185A

公开(公告)日：

2012-08-29

发明(设计)人：

前川贵诚远藤瑶辅

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

代理机构：

北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290

代理人：

张淑珍;王维玉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-08-29	公开	公开
2012-10-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101337333406 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2011800048448 申请日:20110512
2016-11-09	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101741430499 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2011800048448 申请公布日:20120829

共 50 条

[1]

铟靶材及其制造方法 [P].

前川贵诚 ;

远藤瑶辅 .

中国专利 :CN104480435A ,2015-04-01

[2]

平面铟靶材机加工方法 [P].

林进萍 ;

韦筠寰 .

中国专利 :CN109500715A ,2019-03-22

[3]

溅射用靶材及其制造方法 [P].

小泽诚 ;

安东勋雄 .

中国专利 :CN106574359A ,2017-04-19

[4]

靶材、靶材的制造方法及平板状靶 [P].

世良佳弘 ;

石田新太郎 ;

矢野智泰 .

中国专利 :CN106460163A ,2017-02-22

[5]

靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

段高林 .

中国专利 :CN108149203A ,2018-06-12

[6]

靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

王学泽 ;

李健成 ;

周伟君 .

中国专利 :CN105618886A ,2016-06-01

[7]

无粒子的可转动靶材及其制造方法 [P].

A·霍斯卡瓦 .

中国专利 :CN104755650A ,2015-07-01

[8]

一种锰合金靶材及其制造方法 [P].

范亮 ;

王欣平 ;

陈明 ;

江轩 ;

熊晓东 .

中国专利 :CN102877033A ,2013-01-16

[9]

靶材及其形成方法 [P].

潘杰 ;

姚力军 ;

王学泽 ;

郑文翔 .

中国专利 :CN102560382A ,2012-07-11

[10]

一种氧化铟锡锌靶材、氧化物薄膜及其制备方法 [P].

陈明飞 ;

刘永成 ;

王金科 ;

郭梓旋 ;

徐胜利 ;

陈明高 ;

江长久 ;

王志杰 ;

莫国仁 ;

李跃辉 .

中国专利 :CN115418618A ,2022-12-02

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