无粒子的可转动靶材及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201380052591.0

申请日：

2013-10-04

公开(公告)号：

CN104755650A

公开(公告)日：

2015-07-01

发明(设计)人：

A·霍斯卡瓦

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

黄嵩泉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-01	公开	公开
2016-05-25	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101732983983 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2013800525910 申请公布日:20150701

共 50 条

[1]

靶材、靶材的制造方法及平板状靶 [P].

世良佳弘 ;

石田新太郎 ;

矢野智泰 .

中国专利 :CN106460163A ,2017-02-22

[2]

溅射用靶材及其制造方法 [P].

小泽诚 ;

安东勋雄 .

中国专利 :CN106574359A ,2017-04-19

[3]

铟靶材及其制造方法 [P].

前川贵诚 ;

远藤瑶辅 .

中国专利 :CN102652185A ,2012-08-29

[4]

铟靶材及其制造方法 [P].

前川贵诚 ;

远藤瑶辅 .

中国专利 :CN104480435A ,2015-04-01

[5]

靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

段高林 .

中国专利 :CN108149203A ,2018-06-12

[6]

靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

王学泽 ;

李健成 ;

周伟君 .

中国专利 :CN105618886A ,2016-06-01

[7]

一种锰合金靶材及其制造方法 [P].

范亮 ;

王欣平 ;

陈明 ;

江轩 ;

熊晓东 .

中国专利 :CN102877033A ,2013-01-16

[8]

溅镀靶材的制造方法 [P].

卢信冲 ;

谢志铭 ;

陈逸杰 ;

萧成远 ;

徐国书 .

中国专利 :CN101045986A ,2007-10-03

[9]

溅镀靶材的制造方法 [P].

李仲仁 ;

赵勤孝 .

中国专利 :CN101224496A ,2008-07-23

[10]

钌系溅镀靶材及其制造方法 [P].

丸子智弘 ;

荒川等 ;

大友将平 ;

鈴木雄 .

中国专利 :CN113924383A ,2022-01-11

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