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蚀刻装置及蚀刻工艺
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201210460259.5
申请日：
2012-11-14
公开(公告)号：
CN102912348A
公开(公告)日：
2013-02-06
发明(设计)人：
林琼辉
冀卫荣
罗春泉
申请人：
申请人地址：
523303 广东省东莞市石碣镇刘屋科技中路161号
IPC主分类号：
C23F108
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-02-06 | 公开 | 公开 |
| 2013-03-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101413720707 IPC(主分类):C23F 1/08 专利申请号:2012104602595 申请日:20121114 |
| 2016-01-13 | 授权 | 授权 |