共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
高温蚀刻工艺槽
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201210270325.2
申请日：
2012-07-31
公开(公告)号：
CN102842526B
公开(公告)日：
2012-12-26
发明(设计)人：
耿彪
申请人：
申请人地址：
101125 北京市通州区永顺潞邑西路2号院四号楼412室
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L21306
代理机构：
北京神州华茂知识产权有限公司 11358
代理人：
吴照幸
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-12-26 | 公开 | 公开 |
| 2015-03-04 | 授权 | 授权 |
| 2016-03-16 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 登记生效日:20160224 变更事项:专利权人 变更前权利人:耿彪 变更后权利人:北京华林嘉业科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:101125 北京市通州区永顺潞邑西路2号院四号楼412室 变更后权利人:101118 北京市通州区宋庄镇后夏公庄村村委会东南1000米 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101729263673 IPC(主分类):H01L 21/67 专利号:ZL2012102703252 |
| 2013-03-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101416120558 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2012102703252 申请日:20120731 |