MEMS器件和制造MEMS器件的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610246028.2

申请日：

2014-01-24

公开(公告)号：

CN105692543A

公开(公告)日：

2016-06-22

发明(设计)人：

A.德赫

申请人：

申请人地址：

德国瑙伊比贝尔格市坎芘昂1－12号

IPC主分类号：

B81B702

IPC分类号：

B81C100

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

申屠伟进;刘春元

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-07-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101670883874 IPC(主分类):B81B 7/02 专利申请号:2016102460282 申请日:20140124
2016-06-22	公开	公开
2021-01-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B81B 7/02 申请日:20140124 授权公告日:20180710 终止日期:20200124
2018-07-10	授权	授权

共 50 条

[1]

MEMS器件和制造MEMS器件的方法 [P].

彼得里·基尔皮宁 ;

马尔科·佩萨 ;

安蒂·伊霍拉 ;

阿尔蒂·托尔凯利 .

日本专利 :CN118790951A ,2024-10-18

[2]

MEMS器件和制造MEMS器件的方法 [P].

S·安辛格尔 ;

H·S·瓦西斯托 ;

M·富尔德纳 ;

S·阿皮亚南 ;

S·盖勒 .

德国专利 :CN121044533A ,2025-12-02

[3]

MEMS器件和制造MEMS器件的方法 [P].

S.科尔布 ;

A.迈泽 ;

T.施勒泽 ;

W.韦尔纳 .

中国专利 :CN105384141A ,2016-03-09

[4]

MEMS器件和制造MEMS器件的方法 [P].

A.德赫 .

中国专利 :CN103964368A ,2014-08-06

[5]

MEMS器件和制造MEMS器件的方法 [P].

C.阿伦斯 ;

A.德赫 ;

B.克诺特 ;

S.平德尔 .

中国专利 :CN103818872A ,2014-05-28

[6]

MEMS器件和制造MEMS器件的方法 [P].

阿尔蒂·托尔凯利 ;

福光政和 ;

安斯·布卢姆奎斯特 ;

马蒂·柳库 ;

维莱-佩卡·吕特克宁 ;

大川忠行 ;

基尔皮宁·彼得里 .

日本专利 :CN118545672A ,2024-08-27

[7]

MEMS器件和MEMS器件的制造方法 [P].

A·沃瑟 ;

A·德厄 ;

G·梅茨格-布吕克尔 ;

J·斯特拉塞 .

中国专利 :CN109534280A ,2019-03-29

[8]

MEMS器件和用于MEMS器件的制造方法 [P].

M·菲尔德纳 ;

S·巴曾 ;

A·德厄 ;

G·洛伦茨 .

中国专利 :CN109279569A ,2019-01-29

[9]

MEMS器件的制造方法及MEMS器件 [P].

徐希锐 ;

魏丹珠 ;

鲁列微 .

中国专利 :CN112408312B ,2021-02-26

[10]

MEMS器件以及制造MEMS器件的方法 [P].

J·玛索内 .

中国专利 :CN105228076A ,2016-01-06

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