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MEMS器件的制造方法及MEMS器件
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110072164.5
申请日：
2021-01-20
公开(公告)号：
CN112408312B
公开(公告)日：
2021-02-26
发明(设计)人：
徐希锐
魏丹珠
鲁列微
申请人：
申请人地址：
312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号
IPC主分类号：
B81B702
IPC分类号：
B81C100
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
曹廷廷
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-08-17 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):B81B 7/02 变更事项:专利权人 变更前:中芯集成电路制造（绍兴）有限公司 变更后:绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 变更事项:地址 变更前:312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号 变更后:312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号 |
| 2021-03-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/02 申请日:20210120 |
| 2021-02-26 | 公开 | 公开 |
| 2021-05-14 | 授权 | 授权 |